使用含有金离子和氟离子的溶液形成金属硅化物的方法

摘要

本发明涉及一种用于形成硅化镍或硅化钴的方法，包括以下步骤：‑将含硅基板的表面暴露到含有0.1mM～10mM的金离子和0.6M～3.0M的氟离子的水溶液中并持续在5秒～5分钟之间的时间，‑通过无电镀手段在活化的基板上沉积基本上由镍或钴构成的层，‑在300℃～750℃之间的温度下施加快速热处理，从而形成硅化镍或硅化钴。所述水溶液包含选自含有至少一种阴离子或非离子极性基团并含有10～16个碳原子的烷基链的化合物的表面活性剂。这种方法基本上可以应用到NAND存储器和光伏电池的制造。