超衍射极限结构光照明装置、光学模板、系统及获取方法

摘要

本发明适用于光学领域，公开了一种超衍射极限的结构光照明装置，包括光学模板及透镜，二者间距等于透镜的焦距，光学模板设有多个并列排布的透过率不同且厚度不同的线形透光区，多个线形透光区关于光学模板的中轴线对称，平行光穿过光学模板后形成第一透射光，经过透镜后形成第二透射光，第二透射光在透镜的焦平面处中间部位的低能量区域形成超衍射极限的结构光，其呈现为正弦波状态的超振荡光栅状强度分布，超衍射极限的结构光的频率大于系统衍射极限对应的空间频率。本发明的超衍射极限结构光的空间频率大于系统衍射极限对应的空间频率，突破了传统结构光照明时最高分辨率仅为衍射极限一半的瓶颈，对结构光照明显微成像具有重要的意义。