超衍射极限的结构光照明装置、光学模板及光学系统

摘要

本实用新型适用于光学领域，公开了一种超衍射极限的结构光照明装置，包括光学模板及透镜，二者间距等于透镜的焦距，光学模板设有可对平行光进行调整使其经过透镜后在透镜的焦平面处形成超衍射极限的结构光的多个线形透光区，线形透光区并列排布且透过率和厚度均不同，多个线形透光区关于光学模板的中轴线对称，超衍射极限的结构光形成于透镜的焦平面处的中间部位且呈现为正弦波状态的超振荡光栅状强度分布，所述超衍射极限的结构光的频率大于系统衍射极限对应的空间频率。本实用新型的超衍射极限结构光的空间频率大于系统衍射极限对应的空间频率，突破了传统结构光照明时最高分辨率仅为衍射极限一半的瓶颈，对结构光照明显微成像具有重要的意义。