公开/公告号CN104342574B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-10-31
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱综合材料株式会社;
申请/专利号CN201410347611.3
申请日2014-07-21
分类号
代理机构北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人齐葵
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 10:02:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-31
授权
授权
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C22C 9/00 申请日:20140721
实质审查的生效
2016-03-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C22C 9/00 申请日:20140721
实质审查的生效
2015-02-11
公开
公开
2015-02-11
公开
公开
机译: 铜合金溅射靶和铜合金溅射靶的制造方法
机译: 高纯度铜或高纯度铜合金溅射靶,该溅射靶的制造方法以及高纯度铜或高纯度铜合金溅射膜
机译: 高纯度铜或高纯度铜合金溅射靶,制造溅射靶的方法以及高纯度铜或高纯度铜合金溅射膜