电容式微机械加速度计动态性能改善系统和方法

摘要

本发明主要包括电容式微机械加速度计动态性能改善系统和方法，所述系统包括电容式微机械加速度计和检测电路，检测电路包括差分电容检测模块、电荷放大电路、差分放大模块、PI电路、数据采集器和数据处理装置；微机械加速度计、差分电容检测模块、电荷放大电路、差分放大模块、PI电路依次串联，构成闭环回路；数据处理装置通过数据采集器与PI电路相连；所述方法是通过比较电容式微机械加速度计的超调量和稳态响应时间分别与其设定值的关系，而相应地调整PI电路的元件参数，使电容式微机械加速度计系统的阻尼改变而调节电容式微机械加速度计系统的超调量和稳态响应时间并达到设定要求；本发明方法简单，容易实现，调试方便以及成本较低。