一种热解碳/二硫化钼纳米片/石墨烯复合材料图案化微电极及其微加工工艺

摘要

本发明涉及一种热解碳/二硫化钼纳米片/石墨烯复合材料图案化微电极的微加工工艺，包括：1)将石墨烯、二水钼酸钠、硫脲、水按1～10：400：600～700：10000～30000的质量比混合均匀后，在反应釜中进行水热合成反应，水热合成反应完毕后经过离心，干燥得到固体产物，将固体产物研磨，得到二硫化钼纳米片/石墨烯材料；2)将光刻胶与二硫化钼纳米片/石墨烯材料混合均匀然后涂覆于基板上烘干，再进行紫外光刻、显影和润洗，最后进行高温热解反应得到热解碳/二硫化钼纳米片/石墨烯复合材料图案化微电极。所得的微电极具有良好的电化学性能，在微型传感器和微型储能器件等领域有着良好的应用前景。