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柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究

     
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摘要

采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础.

著录项

  • 来源
    《微细加工技术》|2008年第2期|43-47|共5页
  • 作者

    吴义伯; 邢玉梅; 倪鹤南; 徐爱兰; 惠春; 任秋实; 李刚;

  • 作者单位

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;

    上海交通大学,生命科学技术学院,上海,200030;

    上海交通大学,生命科学技术学院,上海,200030;

    中国科学院上海微系统与信息技术研究所,生物芯片实验室,上海,200050;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 半导体器件制造工艺及设备;
  • 关键词

    微电极阵列; 聚对二甲苯; 微加工工艺; 柔性基底; 视网膜修复;

  • 入库时间 2023-07-26 00:15:43

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