一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试分析系统

摘要

本发明涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试分析系统，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和综合分析处理装置，其中：所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针、数字源表和测试控制模块，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述测试探针、数字源表和测试控制模块依次连接；所述显微图像实时采集装置包括相连接的数据码光学显微模块和图像采集模块，所述数据码光学显微模块设置在样品装夹座上；所述综合分析处理装置分别连接测试控制模块、图像采集模块。与现有技术相比，本发明具有易于操作，耗费时间少，直观性好等优点，能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。