法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-27
授权
授权
2015-07-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 35/00 申请日:20131205
实质审查的生效
2015-07-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 35/00 申请日:20131205
实质审查的生效
2015-06-10
公开
公开
2015-06-10
公开
公开
机译: 半导体标定结构,半导体标定晶片,标定半导体晶片涂层系统的标定方法,在处理过程中确定层对准的半导体加工方法以及标定方法
机译: 标定装置,标定方法以及标定用网格板,能够通过线段匹配进行标定
机译: 利用碳原子和分子氧的光吸收线进行绝对激光波长标定的方法及受绝对波长标定影响的激光系统