超声波传感器及其制造方法以及使用该超声波传感器的测量方法

摘要

本发明提供一种能够提高超声波的传播效率的超声波传感器。该超声波传感器(1)的特征在于，具备形成有开口部(W)的基板(10)、以封闭开口部(W)的方式设置在基板(10)上的振动板(50)、以及由层叠在振动板(50)的与上述开口部相反侧的面上且包含第一电极(60)、压电体层(70)以及第二电极(80)的压电元件(300)，该超声波传感器(1)在振动板(50)的与开口部相反侧的面上的上述压电元件的周围的空间设置有反射层(71)，振动板以及压电元件的厚度按如下方式设定：相对于向测量对象物侧发送的发送超声波，使向与发送超声波不同的方向发送的其他超声波在压电元件与反射层之间的界面被反射而与发送超声波叠加。