公开/公告号CN106206836B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-09-26
原文格式PDF
申请/专利权人 威光自动化科技股份有限公司;
申请/专利号CN201510245537.9
申请日2015-05-14
分类号H01L31/18(20060101);
代理机构11139 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司;
代理人孙皓晨;李林
地址 中国台湾新竹市
入库时间 2022-08-23 10:01:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-17
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 31/18 登记生效日:20190428 变更前: 变更后: 申请日:20150514
专利申请权、专利权的转移
2017-09-26
授权
授权
2017-09-26
授权
授权
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20150514
实质审查的生效
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20150514
实质审查的生效
2017-01-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20150514
实质审查的生效
2016-12-07
公开
公开
2016-12-07
公开
公开
2016-12-07
公开
公开
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