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位移传感器、光谱特性测量设备及方法、颜色测量设备及方法、平面测量对象质量监控设备、和位移测量方法

摘要

本发明公开了光谱特性测量设备、颜色测量设备、平面测量对象质量监控设备、位移测量方法、光谱特性测量方法和颜色测量方法。位移传感器包括:光源单元,其被构造为将具有不同的多个波长的光以倾斜的方向施加于平面测量对象的测量区域;分光镜,其被构造为测量被测量区域反射的光的光谱分布;特征量提取模块,其被构造为提取光谱分布的特征量;以及位移计算模块,其被构造为基于所提取的特征量以及预先获取的位移与特征量之间的关系来计算测量区域的位移。

著录项

  • 公开/公告号CN103727880B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-09-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 横河电机株式会社;

    申请/专利号CN201310478380.5

  • 发明设计人 辻井敦;千田直道;西田和史;

    申请日2013-10-14

  • 分类号

  • 代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈源

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 10:00:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-08

    授权

    授权

  • 2014-05-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20131014

    实质审查的生效

  • 2014-05-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20131014

    实质审查的生效

  • 2014-04-16

    公开

    公开

  • 2014-04-16

    公开

    公开

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