双缝干涉条纹解码光谱共焦位移传感器及其位移测量方法

摘要

本发明涉及一种双缝干涉条纹解码光谱共焦位移传感器及其位移测量方法。目前光谱共焦位移传感器的光谱解析单元均采用光栅光谱仪，分光原理复杂，成本较高，探测波长会随着时间及环境发生漂移，影响到传感器的测量精度。本发明的传感器包括宽带点光源、无色差分光镜、色散透镜组、共焦针孔、无色差准直透镜、干涉双缝屏、适配透镜、矩形光阑及线阵CCD；被测物体表面反射光经共焦针孔滤波后形成准单色光，经无色差准直后被双缝分割成两个子柱面光源并形成干涉，干涉条纹的宽度与被测物体表面反射光波长成良好线性关系，即通过判读干涉条纹的宽度实现物体位移量测量。本发明具有成本低、线性度好、分辨率高的优点，同时仪器结构简单，容易加工。