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有机源混溶式制备铝镓酸铋薄膜的方法

摘要

一种铝镓有机源混溶式自限制性表面吸附反应制备Bi(Al

著录项

  • 公开/公告号CN105420695B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-09-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南通大学;史敏;

    申请/专利号CN201510765158.2

  • 申请日2015-11-11

  • 分类号

  • 代理机构南京同泽专利事务所(特殊普通合伙);

  • 代理人蔡晶晶

  • 地址 226019 江苏省南通市崇川区啬园路9号

  • 入库时间 2022-08-23 10:00:48

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-09-22

    授权

    授权

  • 2016-04-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/52 申请日:20151111

    实质审查的生效

  • 2016-04-20

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/52 申请日:20151111

    实质审查的生效

  • 2016-03-23

    公开

    公开

  • 2016-03-23

    公开

    公开

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