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公开/公告号CN1255851C
专利类型发明授权
公开/公告日2006-05-10
原文格式PDF
申请/专利权人 兰姆研究有限公司;
申请/专利号CN01810242.5
发明设计人 A·D·拜利三世;
申请日2001-03-13
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人肖春京;黄力行
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 08:58:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2006-05-10
授权
2003-10-08
实质审查的生效
2003-07-23
公开
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