法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-25
授权
授权
2016-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160708
实质审查的生效
2016-10-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160708
实质审查的生效
2016-09-21
公开
公开
2016-09-21
公开
公开
机译: 干涉条纹分析方法,干涉条纹分析装置,投射曝光装置以及装置的制造方法
机译: 干涉条纹分析方法,干涉条纹分析装置,投影曝光装置和装置制造方法
机译: 干涉条纹检查装置,干涉条纹检查方法以及使用干涉条纹的检查方法