贴层状材料并且采用掩模以预定图案在基片上形成层的方法

摘要

在通过将发光材料附着到基片(10)上来形成一层例如有机EL元件的发光层的情况中，在基片(10)和材料源(200)之间设有蒸发掩模(100)，它包含有与形成具有多个单独图案的层对应的开口(110)并且其面积小于基片。使掩模(100)和材料源(200)以及基片(10)之间的相对位置滑动与基片(10)的像素尺寸对应的预定间距，从而在基片的预定区域中形成材料层(例如发光层64)。因此，可以通过例如蒸发作用在基片上高精度地形成材料层。