法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-02-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 6/26 授权公告日:20060419 终止日期:20091228 申请日:20031126
专利权的终止
2006-04-19
授权
授权
2005-01-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2004-11-10
公开
公开
机译: 马赫曾德尔干涉仪,阵列波导光栅的制造方法以及马赫曾德尔干涉仪
机译: 非对称马赫曾德尔干涉仪(MZI)与非对称马赫曾德尔干涉仪零阵列导波相连
机译: 多级马赫曾德尔干涉仪型光路的特性调整方法及多级马赫曾德尔干涉仪型光路