一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头

摘要

本发明是一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其光学结构为双方远心结构，物像共轭总长为l＝1500mm；其中物方视场为Φ120mm，物方数值孔径NA＝0.1。本镜头放大倍率β＝‑1×，即按原比例成倒像于像面且质量较好，分辨力σ<3μm。该镜头设计工作波段为λ＝(365±10)nm紫外光，镜片数量少同时成像质量好，用于大视场，大数值孔径投影光刻成像。