表面纹理测量设备、其控制器和用于控制其的方法

摘要

一种能解决用于每个完全显示量程的误差的表面纹理测量设备，一种用于该表面纹理测量设备的控制器，以及一种用于控制该表面纹理测量设备的方法，其中包括选择任一显示量程作为参考量程，并定义用于每个显示量程的校准测量值；替换所述测量值而依次将校准测量值输入到对应于参考量程的量程放大器，以获得参考显示值rDATAi；将校准测量值输入到对应于每个显示量程的量程放大器，然后获得AD转换值ADi和显示值DATAi；计算增益误差率ki＝rDATAi/DATAi、显示分辨率DIVi＝DATAi/ADi、和已校正显示分辨率cDIVi＝DIVi×ki；以及显示已校正显示值cDIVi＝DIVi×ki。