一次曝光实现光纤光栅多种函数切趾的方法

摘要

本发明涉及一种一次曝光实现光纤光栅多种函数切趾的方法。包括：A.用振幅掩膜版对入射紫外光进行振幅调制，获得光通量按所需切趾函数分布的一束紫外光，使用第一柱面镜对该紫外光的光斑进行纵向压缩后再透过相位掩膜版对光敏光纤曝光；B.与步骤A同时，用振幅掩膜版对入射紫外光进行振幅调制，获得光通量与该切趾函数分布互补的另一束紫外光，使用第二柱面镜对该紫外光的光斑进行纵向压缩后直接对光敏光纤曝光。其中透过相位掩膜版曝光的一束光是经振幅掩膜版的透射光；直接曝光的另一束光，可以是经上述振幅掩膜版按与切趾函数分布互补的函数调制后的反射光，也可以是另外产生并经反切趾振幅掩膜版调制的透射光。简单易行且精确度高。