一种垂直各向异性人工反铁磁耦合多层膜材料

摘要

本发明的目的在于提供一种具有垂直各向异性的人工反铁磁耦合多层膜材料。本发明所述的由“CoFeB/MgO”体系组成的垂直各向异性人工反铁磁结构的多层膜材料，是通过将Mo或其他可以促进“CoFeB/MgO”体系垂直各向异性的金属作为核心非磁性层插入“MgO/CoFeB/MgO”结构的CoFeB层中，得到诸如MgO/CoFeB/Mo/CoFeB/MgO的结构，使得位于非磁性层两边的CoFeB形成具有垂直各向异性的反铁磁交换耦合；而且“MgO/CoFeB/Mo/CoFeB/MgO”体系具有良好的热稳定性，经过400℃两小时退火后仍然可以维持较强的垂直反铁磁耦合，从而应用价值得以提升，使该多层膜可作为巨磁电阻核心结构，或自旋阀或自旋双势垒垂直磁隧道结的参考层应用到器件中。