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通过层转移制备柔性结构的方法及中间结构和柔性结构

摘要

本发明公开了通过层转移制备柔性结构的方法及中间结构和柔性结构。其中用于制备柔性结构(13)的方法包括以下步骤:在第一和第二有源基底(1、2)中注入离子物质以分别形成第一和第二脆化区(3.5、4.6),从而限定第一和第二薄膜(3、4),提供柔性基底(9),其硬度R小于或等于10

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法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-06-16

    授权

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  • 2014-12-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20121220

    实质审查的生效

  • 2013-06-26

    公开

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