一种独立式多源共聚焦超声雾化热解喷涂反应室

摘要

本发明公开一种独立式多源共聚焦超声雾化热解喷涂反应室，样品载台设在反应室内；样品载台上方设有一个加热体外壳，在加热体外壳内设有加热体，雾化源的数目至少为两个，这些雾化源之间相互独立，并沿反应室的周向布置，每个雾化源上部的喷雾口分别连接有一根喷雾管；所有喷雾管的上部均朝向反应室的轴心线，并与反应室的轴心线形成喷雾角α；所有喷雾管上端的喷口处分别设有一块挡板，挡板可遮挡或敞开喷雾管上端的喷雾口。本发明可得到所需成分的薄膜，从而克服了传统结构导致交叉污染的缺陷；本发明通过抽尾气罩罩住样品载台附近的高温反应尾气，本发明能通过热反射罩实现热反射，并通过水冷热屏蔽板进一步实现冷却。