两种超声雾化热解喷涂工艺中多源布局的对比分析

摘要

超声雾化热解喷涂(usp)是一种简单高效的薄膜制备方法.为了实现掺杂、多组分薄膜制备、多层薄膜制备,采用多源结构是一种合理的技术考虑.本文对共管道和共聚焦两种多源布局方式进行了分析讨论.认为两种布局方式都有优势:共管道布局结构简单,成本低廉,共聚焦布局可以实现复杂的薄膜制备,也有利于高质量成膜.两种布局方式也都有不足:共管道布局容易导致污染,降低薄膜质量,共聚焦方式实现成本较高.