光束均匀化方法及光束均匀化装置

摘要

本发明公开了一种光束均匀化方法，其特征在于，在入射光束的传播路径上设置多个分光膜，入射光束透射分光膜后形成第一光束、经分光膜反射后形成第二光束；第一光束与第二光束成一夹角；所述第一光束方向与所述入射光束方向相同；所述多个分光膜沿所述第二光束传输方向排列。本发明提供的光束均匀化方法，通过设有分光面的光束均匀化装置对入射光束进行重新分配，使其转换为均匀分布的出射光束。