线电极放电加工装置、使用该线电极放电加工装置的薄板的制造方法以及半导体晶片的制造方法

摘要

为了通过从加工电源稳定地进行供电从而进行高精度的切断加工，在本发明中，在将线电极(3)在主导辊(1a～1d)之间卷挂多次，同时进行多个切割加工的线电极放电加工装置中，缩短将多根线电极(3)向供电件的线电极架设作业，对切割线电极部(CL)进行均匀的供电，谋求稳定的加工，将多个供电件按照排列位置以单元为单位，与作为供电对象的各切割线电极部的线电极并列间隔相对应地进行排列，并且配置为至少每隔1根线电极而向切割线电极部进行供电。