光学探针干涉相位测量中相位误差补偿装置

摘要

本发明提供一种光学探针干涉相位测量中相位误差补偿装置，包括：扫描近场光学显微镜模块用于对待测样品进行三维扫描，外差干涉光路模块用于测量待测样品的光场相位并对环境变化对相位引起的误差进行补偿，信号采集与同步解调模块用于对接收到的信号进行解调得到对应点的光场振幅和相位信息并输出到上位机；上位机用于根据输出的光场振幅和相位信息，生成同步的空间位置拓扑形貌图以及对应的光场振幅，相位分布图，实现空间任意高度截面的场分布测量和3D立体场分布测量。上述装置能够对现有纳米光场相位测量中的漂移和误差进行实时补偿，减小外界环境对测量结果的影响，提高测量结果的精度。