公开/公告号CN103185704B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-31
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社堀场制作所;
申请/专利号CN201210567646.9
申请日2012-12-24
分类号G01N21/39(20060101);
代理机构31210 上海市华诚律师事务所;
代理人徐晓静
地址 日本京都府京都市南区吉祥院宫东町2番地
入库时间 2022-08-23 09:56:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-31
授权
授权
2015-01-21
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/39 申请日:20121224
实质审查的生效
2013-07-03
公开
公开
机译: 气体浓度-厚度乘积计测装置,气体浓度-厚度乘积计测方法,气体浓度-厚度乘积计测程序,以及记录有气体浓度-厚度乘积计测程序的计算机可读取的记录介质
机译: 气体浓度厚度积计测装置,气体浓度厚度积计测方法,气体浓度厚度积计测程序以及记录气体浓度厚度积计测程序的计算机可读记录介质
机译: 气体浓度厚度积计测装置,气体浓度厚度积计测方法,气体浓度厚度积计测程序以及记录气体浓度厚度积计测程序的计算机可读记录介质