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气体计测装置和气体计测装置的波长调制幅度的设定方法

摘要

本发明的气体计测装置对波长调制幅度的设定进行简化。气体计测装置(1)是对计测对象气体(30)进行计测的装置。气体计测装置(1)具有光源(2)、第1受光装置(14)、第1相位敏感检波装置(18)、R算出部(42)、设定部(44)。光源(2)使中心波长变化地振荡具有与主电流对应的中心波长且与根据调制电流调制了的激光。第1受光装置(14)与根据透过了基准试样的激光的强度输出检测信号(I1)。第1相位敏感检波装置(18)从检测信号(I1)中取得以调制电流(ω1)的频率的2倍的谐波频率(ω2)振动的二次谐波成分。R算出部(42)计算峰谷比(R)。设定部(44)设定激光的波长调制幅度,使得峰谷比(R)满足规定条件。

著录项

  • 公开/公告号CN103185704B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-05-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 株式会社堀场制作所;

    申请/专利号CN201210567646.9

  • 发明设计人 森哲也;井户琢也;

    申请日2012-12-24

  • 分类号G01N21/39(20060101);

  • 代理机构31210 上海市华诚律师事务所;

  • 代理人徐晓静

  • 地址 日本京都府京都市南区吉祥院宫东町2番地

  • 入库时间 2022-08-23 09:56:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-05-31

    授权

    授权

  • 2015-01-21

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/39 申请日:20121224

    实质审查的生效

  • 2013-07-03

    公开

    公开

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