一种磁隧道结、其制造方法及含磁隧道结的存储单元

摘要

本发明提供一种纳米环形磁隧道结，其特征在于，所述纳米环形磁隧道结至少包括：位于中间的隧穿氧化层，所述隧穿氧化层材料为金属氧化物；上磁性层，设置于所述隧穿氧化层的上部；下磁性层，设置于所述隧穿氧化层的下部，其中，所述上磁性层、所述隧穿氧化层和所述下磁性层的外围形成为一柱体；椭圆柱形贯穿孔，竖向贯穿所述上磁性层、所述隧穿氧化层和所述下磁性层。本发明利用了磁隧道结的形状各向异性特征，制造出内椭圆外圆的环形磁隧道结，增加了磁隧道结的热稳定性以及加快了反磁化核形成和磁反转，并且降低了驱动电流密度和临界电流值及功耗。