公开/公告号CN104048603B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-17
原文格式PDF
申请/专利权人 南京理工技术转移中心有限公司;
申请/专利号CN201410280416.3
申请日2014-06-20
分类号G01B11/00(20060101);G01C11/00(20060101);
代理机构32203 南京理工大学专利中心;
代理人朱显国
地址 210000 江苏省南京市白下区光华路1号201
入库时间 2022-08-23 09:56:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-17
授权
授权
2014-10-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/00 申请日:20140620
实质审查的生效
2014-09-17
公开
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机译: 具有形式双折射的表面特征测量系统,具有形式双折射的特征尺寸测量方法,具有高横向分辨率的各向异性样品的临界尺寸的测量装置以及具有样品的高分辨率的临界尺寸的方法
机译: 激光扫描仪,用于对环境或被测物品进行三维测量,使用两种激光机构,一种用作相移测量系统,另一种用作脉冲运行时间测量系统
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