控制多指型半导体器件参数波动的制造方法

摘要

本发明公开了一种控制多指型半导体器件参数波动的制造方法，包括步骤：步骤一、提供一硅衬底，在器件区形成多个多指型半导体器件。步骤二、对各多指型半导体器件的参数进行预估并得到预估值。步骤三、进行正面金属层后形成各多指型半导体器件的电极金属指，各电极金属指的数目根据步骤二中的预估值调整。本发明能够将多指型半导体器件参数控制在工艺要求范围内，提升产品的可生产性。