一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法

摘要

本发明公开了一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法，特别适用于超光滑表面古典法抛光用的微米亚微米级氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的筛选，具体步骤为：将抛光粉和高纯去离子水放入洁净容器中，通入洁净气体混合5～8分钟后静置3～5分钟，抛光粉颗粒在重力、浮力和液体阻力的共同作用下出现分层现象，利用虹吸管将上层1/2～2/3体积的溶液吸出；在吸出的溶液中加入等量水后再通入气体混合5～8分钟后静置3～5分钟，利用虹吸管吸出上层1/3～1/2体积的溶液，得到微粒粒径分布均匀的抛光液。该方法筛选的溶液粒径更小，粒度分布更均匀，用于超光滑表面抛光，不容易产生划痕，是超光滑表面抛光工艺中的关键技术。