一种红外剩余反射率光谱测试附件及测试方法

摘要

本发明属于反射率光谱测量技术领域，具体涉及一种红外剩余反射率光谱测试附件及测试方法。本发明研制专用的红外剩余反射率光谱测试附件，将需要在被测样品上两次反射的反射率测量光路转换成在被测样品上单次反射的反射率测量光路，对减反射薄膜的剩余反射率光谱进行测量。该测试方法的优点在于可以明显提高低反射率光谱的测量精度，特别是对于减反射薄膜剩余反射率光谱的测量效果更为明显，同时该方案对测试样品尺寸没有限制，可以测试大尺寸样品。