首页> 中国专利> 用于生产具有彩色干涉过滤器层的基材的方法、包含彩色干涉过滤器层的所述基材、所述基材作为彩色太阳能电池或作为彩色太阳能模块或作为它们的构件的应用以及包括至少两个此基材的阵列

用于生产具有彩色干涉过滤器层的基材的方法、包含彩色干涉过滤器层的所述基材、所述基材作为彩色太阳能电池或作为彩色太阳能模块或作为它们的构件的应用以及包括至少两个此基材的阵列

摘要

本发明涉及通过具有涂覆装置,特别借助于溅射气体,尤其是物理或化学的气相沉积用于生产具有彩色干涉过滤器层的基材的方法,所述基材包含一种或多种多晶金属氧化物,在此方法中由气相沉积出至少两个,尤其至少6个,各自重叠沉积形成多晶金属氧化物的涂层,所述涂层分别具有在约50 nm‑350nm范围内的平均厚度,尤其在约90 nm‑210nm范围内,其中至少一种,尤其分别每种包含于在每种情况中至少两层,尤其所有涂层中的金属的平均以百分比计的原子比例偏差不超过各金属在干涉过滤器层中的平均以百分比计的构成的+/‑20原子%,优选不超过+/‑10原子%和特别优选不超过+/‑5原子%,其中100原子%表示所有包含在所述层中的金属的总和。本发明还涉及据此方法可获得的彩色基材以及包含多个这种基材的阵列。

著录项

  • 公开/公告号CN102498574B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-05-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;

    申请/专利号CN201080042272.8

  • 发明设计人 F.赫格特;J.R.蒂恩;V.普罗布斯特;

    申请日2010-09-23

  • 分类号H01L31/0216(20140101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人周铁;林森

  • 地址 德国斯图加特

  • 入库时间 2022-08-23 09:55:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-09-06

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 31/0216 登记生效日:20190820 变更前: 变更后: 申请日:20100923

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-05-24

    授权

    授权

  • 2017-05-24

    授权

    授权

  • 2012-07-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0216 申请日:20100923

    实质审查的生效

  • 2012-07-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0216 申请日:20100923

    实质审查的生效

  • 2012-06-13

    公开

    公开

  • 2012-06-13

    公开

    公开

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