一种氮杂环改性聚硅氧烷缓蚀剂组合物及其制备方法

摘要

本发明涉及一种氮杂环改性聚硅氧烷缓蚀剂组合物及其制备方法，所述缓蚀剂组合物包括含氢聚二甲基硅氧烷，羟基咔唑，乙烯基咔唑，氯铂酸乙醇溶液，碱性催化剂，溶剂A和溶剂B。所述含硅大分子缓蚀剂组合物制备方法，向含氢聚二甲基硅氧烷中加入羟基咔唑和溶剂A，然后在75~90℃下加入碱性催化剂，反应后经过滤和减压蒸馏得到一次产物W；向W中加入溶剂B和含乙烯基咔唑，升温至90~140℃后滴加氯铂酸催化剂溶液，反应后得到的混合物经过滤并除去溶剂后即为缓蚀剂组合物。本发明产品具有更高的适用温度和更强的吸附成膜稳定度，所成膜的憎水性和绝缘性更好，防护作用更佳，用量低、持续抗腐蚀性好。