一种清洗液供给装置及清洗液供给方法

摘要

本发明提供一种清洗液供给装置及清洗液供给方法。装置包括：用于存放清洗液的水箱、输送管路、回收管路、质量检测器、水箱清洁器以及控制器；所述水箱的输出端通过输送管路与用于清洗基板的清洗室的输入端连接，从而通过该输送管路向清洗室输送清洗液；所述水箱的输入端通过所述回收管路与所述清洗室的输出端连接，从而通过该回收管路回收清洗室使用后的清洗液；所述质量检测器用于对所述水箱的清洗液进行质量检测，并生成一检测结果；其中，若所述检测结果不符合预设要求，则所述控制器用于关闭所述输送管路以及回收管路，并控制所述水箱清洁器对所述水箱进行清洁。本发明的方案能够在不影响基板清洗效果的前提下，循环使用清洗液。