具有非均一电流路径的自旋力矩驱动的磁性隧道结及用于形成所述磁性隧道结的复合硬掩模架构

摘要

本发明揭示一种磁性隧道结MTJ存储元件(300)及形成所述MTJ的方法。所述磁性隧道结MTJ存储元件包括钉扎层(206、210)、势垒层(212)、自由层(214)及复合硬掩模或顶部电极(304、306)。所述复合硬掩模/顶部电极架构经配置以提供通过所述MTJ存储元件的非均一电流路径，且由并联耦合的具有不同电阻特性的电极形成。插入于所述自由层与所述顶部电极之间的任选调谐层(302)帮助降低所述自由层的阻尼常数。