用于高级半导体的电介质可靠性评估的方法和系统

摘要

本发明公开涉及用于高级半导体的电介质可靠性评估的方法和系统。实施例涉及用于执行高级半导体的电介质可靠性评估的方法、计算机系统和计算机程序产品。实施例包括接收与对所述高级半导体的宏块进行的直到电介质击穿的测试相关联的数据。实施例还包括将用于所述宏块的数据缩减到参考区域以及从用于所述参考区域的缩减数据中提取用于韦伯分布的参数。实施例还包括从用于所述参考区域的缩减数据导出聚集因子(α)，和基于所提取的参数、所述聚集因子和与所述宏块的电介质击穿相关联的记录数据，预测所述高级半导体的较大区域的故障率。