一种全金属微波谐振腔式无线无源超高温压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种全金属微波谐振腔式无线无源超高温压力传感器及其制备方法，该传感器由全钨金属微波谐振腔体和SiC微带天线构成，所述全钨金属微波谐振腔体由无盖腔体和腔盖通过Pt糊高温粘结剂粘结而成，所述SiC微带天线包括Pt层微带和SiC，所述SiC微带天线通过Pt糊粘接所述腔盖上；该传感器通过钨金属粉末注射成型制备无盖腔体和腔盖，再使用Pt糊作为高温粘结剂，烧结腔盖、腔体和SiC基微带天线制备所得。本发明采用低热胀系数和高熔点的金属材料作为腔体材料，能实现超高温场合的压力测量，成型方法可靠，同时所设计谐振腔结构简单、零件很少，故装配容易。