公开/公告号CN103649373B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱瓦斯化学株式会社;
申请/专利号CN201280032769.0
申请日2012-06-28
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:54:44
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-12
授权
授权
2014-06-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20120628
实质审查的生效
2014-03-19
公开
公开
机译: 铜或以铜为主要成分的化合物的蚀刻液
机译: 铜或以铜为主要成分的蚀刻液
机译: 抛光铜表面或以铜为主要成分的合金的方法