法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01D 53/18 授权公告日:20170405 终止日期:20170610 申请日:20150610
专利权的终止
2017-04-05
授权
授权
2017-04-05
授权
授权
2015-10-07
实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/18 申请日:20150610
实质审查的生效
2015-10-07
实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/18 申请日:20150610
实质审查的生效
2015-09-09
公开
公开
2015-09-09
公开
公开
查看全部
机译: 带有喷淋式喷水装置的方型对流式冷却塔中的喷水方法及用于该方法的带喷淋式喷水装置的方型对流式冷却塔的水喷淋方法
机译: 喷淋头具有一种检查装置,用于检查流体是否在喷头体内部,以及使用这种检查方法来检查流体的填充方法(请参阅PF1)
机译: 用于制造半导体器件的设备,加热装置,喷淋头装置,在半导体器件制造期间减少热干扰的方法以及在半导体器件制造期间进行热交换的方法