法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-05
授权
授权
2014-09-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 29/04 申请日:20140509
实质审查的生效
2014-08-27
公开
公开
机译: 悬臂梁传感器,其制造方法,使用该传感器的生物材料检测装置以及该器械的制造方法,能够以定量的方式将吸收的生物材料准确地分析成悬臂梁。
机译: 一种测量微悬臂梁弹簧常数和类似梁的弹簧常数的装置
机译: 制造具有残余应力的悬臂梁和悬臂梁的装置和方法