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基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统

摘要

一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统,该系统包括:一石英音叉;一压电陶瓷扫描台,所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台上;一锁相放大器,其端口1、端口2通过PCB板与石英音叉的两端相连;一光电倍增管,其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连;一激光器,其输出端与一激发光纤探针相连;一控制箱,其端口与光电倍增管的输出端相连,其端口与锁相放大器的端口3相连,其端口3与压电陶瓷扫描台相连;一电脑,其输入端与控制箱的端口4相连。本发明可以提高现有的近场光学显微镜的灵敏度。

著录项

  • 公开/公告号CN104777331B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-03-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN201510179862.X

  • 发明设计人 杨惠霞;漆晓琼;谢亮;

    申请日2015-04-16

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人任岩

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2022-08-23 09:54:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-03-29

    授权

    授权

  • 2015-08-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q 60/18 申请日:20150416

    实质审查的生效

  • 2015-07-15

    公开

    公开

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