公开/公告号CN104233225B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-03-22
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN201310239143.3
发明设计人 党志泉;
申请日2013-06-17
分类号C23C16/44(20060101);
代理机构11274 北京中博世达专利商标代理有限公司;
代理人申健
地址 100026 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼
入库时间 2022-08-23 09:53:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-10-24
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/44 变更前: 变更后: 申请日:20130617
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2017-03-22
授权
授权
2017-03-22
授权
授权
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20130617
实质审查的生效
2015-01-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/44 申请日:20130617
实质审查的生效
2014-12-24
公开
公开
2014-12-24
公开
公开
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机译: 用于气体产生系统的反应器用于在车辆中产生用于燃料电池的含氢气体,该反应器具有用于吸热反应的腔室,该腔室设置在用于放热反应的腔室之间。
机译: 用于将气体引入外延反应器的腔室中的设备,包括这种气体引入设备的反应器腔室以及这种腔室用于产生半导体层的用途
机译: 用于圆柱形设计的反应器管的加热或冷却装置,包括围绕反应器管并具有第一腔室和第二腔室的加热或冷却套,所述第一腔室和第二腔室通过第三腔室彼此热隔离。