微热板器件及包括此类微热板器件的传感器

摘要

本发明涉及一种微热板器件，其包括：框架、薄膜、包括至少一有源层的有源区以及被设计成加热所述有源层的加热结构，所述加热结构具有同心的轨径，并且所述加热结构包括内轨径和内间隔以及外轨径和外间隔，所述外轨径和外间隔是位于最远离所述加热结构的中心处的一个或两个轨径和间隔，其中，所述外轨径被设计成与自身相邻轨径的靠近度较所述内轨径与自身相邻轨径的靠近度更高和/或被设计成具有较所述内轨径更小的宽度，所述内轨径的宽度和间距基本恒定。