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微加热板式半导体微气压传感器的测试

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组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统.该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成.该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台,利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析.

著录项

来源
《传感器与微系统》 |2004年第8期|55-57|共3页
作者
郭文泰; 金仁成; 王海霞; 高仁璟; 张凤田; 余俊; 于耀东; 张天超;
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作者单位

大连理工大学,机械工程学院,辽宁,大连,116023;

大连理工大学,机械工程学院,辽宁,大连,116023;

大连理工大学,机械工程学院,辽宁,大连,116023;

大连理工大学,机械工程学院,辽宁,大连,116023;

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大连理工大学,机械工程学院,辽宁,大连,116023;

大连理工大学,机械工程学院,辽宁,大连,116023;

大连理工大学,机械工程学院,辽宁,大连,116023;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微加热板式半导体传感器; 微气压; 测试;

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