一种菲索型准共光路结构的同步相移干涉测量装置及方法

摘要

本发明涉及一种菲索型准共光路结构的同步相移干涉测量方法及装置，包括激光器、半波片、聚焦透镜、空间滤波器、圆偏振光分束器(旋光晶体)、分光镜、准直透镜、参考镜、小孔光阑、成像透镜、分光移相系统、计算机控制系统、CCD相机。本发明将同步相移技术和菲索干涉方法相结合，解决了传统干涉仪稳定性差、不能实现动态测量的技术难题，其特征在于利用晶体的旋光效应，在菲索型干涉结构中加入一片分束角很小的圆偏振光分束器实现在共光路中参考光和测试光的正交偏振分离。本发明不但避免了同步相移干涉系统中高质量四分之一波片的使用，也使系统中光学元件所存在的应力双折射效应所造成的相位测量误差大大降低。