基于三相磨粒流的超光滑表面精密流体圆盘抛光装置

摘要

本发明公开了一种基于三相磨粒流的超光滑表面流体精密圆盘抛光装置，包括圆盘形抛光工具和工件装夹台，被加工工件装夹在工件装夹台上，圆盘形抛光工具固定安装在工件装夹台的正上方且与被加工工件的上表面形成大面积的微距缝隙；圆盘形抛光工具设有内腔，圆盘形抛光工具的顶面设有与上述内腔连通的磨粒注入通道；圆盘形抛光工具的侧面设有对称分布的抛光液注入孔通道，抛光液注入孔通道与上述内腔连通并用于向上述内腔中注入抛光液；圆盘形抛光工具的内腔侧面还设有微尺寸气泡发生器。通过气液固的三相磨粒流形成高速湍流涡旋，大幅度提高了气液固三相磨粒流中抛光磨粒的运动速度，进而提升了圆盘形抛光工具对被加工工件的加工效率。