真空气相沉积反应法制备硅化石墨中延长石墨坩埚使用寿命的方法

摘要

本发明公开了一种真空气相沉积反应法制备硅化石墨中延长石墨坩埚使用寿命的方法，1）首次使用石墨坩埚制备硅化石墨时，先将硅化反应原料分别均匀涂敷在石墨坩埚内表面和石墨基材表面，同时在石墨坩埚与石墨基材之间填充防黏剂；2）将放有石墨基材的石墨坩埚置于真空炉内，通过真空气相沉积反应法将石墨基材制备为硅化石墨，同时在石墨坩埚内表面形成均匀的碳化硅层；3）再次使用该石墨坩埚时，只需在石墨坩埚与石墨基材间填充防黏剂即可。本发明石墨坩埚的使用次数超过10次，延长了石墨坩埚使用寿命，节约了生产成本。